CIS-500 顯微鏡光阻劑膜厚測量儀可以同時測單層或兩到三層膜厚度的功能，已成為測量光阻劑膜厚的最佳選擇的儀器，CIS-500光阻劑膜厚測量儀是利用薄膜干涉原理測量產品的厚度，可以快速、穩定量測光阻劑厚度。