CIS-500光譜干涉膜厚測量儀是利用膜厚干涉原理測量產品的厚度，適用於PCB板塗層，半導體（Wafer）、半導體化合物、微電子機械（MEMS）、氧化物/氮化物、光阻劑、硬塗層、聚合物塗層、高分子聚合物的厚度測量，厚度測量可以同時測單層或兩到三層膜厚度，可加裝顯微鏡及CCD相機方便尋找需要測量的厚度位置。