2022/06/08
STORM系列光罩AOI光學檢測設備可以檢測光罩的缺陷檢測，顆粒劃痕，Haze等問題
STROM系列產品採用先進的圖形處理技術和成像系統，具有測量精度高、速度快、應用靈活等特點，可使用光罩廠、Fab 廠，具備光罩缺陷檢測，顆粒劃痕檢測，Haze檢測等功能。
STORM系列光罩AOI光學檢測設備支援Die2DB和Die2Die 檢測，同時支援線寬測量及自動腳本執行，靈活高效多種模式的缺陷Review和缺陷分類多種算法聯合檢測，缺陷識別率高，並且可以和KLA檢測設備和修補設備對接。