2024/03/14
CLS-3000光譜共焦2D輪廓測量儀-利用光譜共焦位移傳感器測量產品的段差/厚度/粗糙度
CLS-3000 光譜共焦2D測量儀是利用光譜共焦位移傳感器測量產品的段差/厚度/粗糙度，應用於油墨厚度測量，MLCC厚度測量，厚膜電路厚度測量，銀漿厚度測量，雷射刻蝕測量，塗膠厚度測量和各種產品厚度的測量，CLS-3000同時也可以各種材料的表面粗糙。CLS-3000使用OP2傳感器及配合壓電馬達(Piezo motor)掃瞄，量程最大高度為: +/-190um，測量的準確度為:+/- 25nm，重覆性: +/-10nm。X軸平台的最大掃描行程為: 30 mm (可以選購60, 90mm)。