FSD 100e是專為檢測2吋及4吋LED圖案化藍寶石基板 PSS (Pattern Sapphire Substrate) 晶圓表面是否有缺陷及反射率均勻度是否正常所開發的AOI自動光學檢測設備，該備可適用於LED PSS晶圓廠出貨前的檢查及LED晶片廠入料後檢查。

  FSD 100e使用1.4um高解析度的CCD，可以高分辨率檢測晶圓表面的是否髒污、刮傷、格線、燒蝕等缺陷，每小時可以檢測200片的2吋晶圓或100片的4吋晶圓，RMAP功能可以檢測晶圓表面Pattern的均勻度，1 Sec.可以檢測一片晶圓，20x放大倍率的顯微鏡自動定位複查系統，可以自動準確定位查看檢測出的缺陷，自動利用氮氣清潔晶圓表面，確保檢測前晶圓表面的清潔，提供人性化及簡易的系統使用者介面，容易使用，晶圓檢測結果以Excel的形式輸出，可做為生產統計分析及製程改善使用。

  FSD 100e高效率及高辨率的晶圓表面的缺陷及反射率均勻度檢測功能，是目前市場上LED圖案化藍寶石基板 PSS性價比最高的光學檢測設備。

• 晶圓表面缺陷檢測

使用1.4um高解析度及快速擷取影像的CCD，可以高分辨率檢測晶圓表面的是否髒污、毛屑、刮傷、格線、燒蝕等缺陷，快速缺陷檢測，每小時可以檢測200片2吋晶圓或100片4吋晶圓顆粒。

• 晶圓PSS反射率均勻度檢測

RMAP提供快速Pattern均勻度檢測功能，整片PSS晶圓表面的反射率均勻度只需要1 sec就可以檢測完成。

• 晶圓背面編號識別

OCR可快速讀取晶圓背面編碼，使用SEMI規格的字體識別率可以達到95%以上。

• 晶圓表面缺陷定位複查系統

  20x放大倍率的顯微鏡自動定位複查系統，對於AOI 及RMAP檢測出的缺陷，可以自動準確定位查看缺陷，提供晶圓表面缺陷分析使用。

• 自動晶圓表面清潔功能

使用氮氣清潔方式，在晶圓檢測前，自動對表面進行清潔動作，確保在缺陷檢測及PSS反射率均勻度檢測時的晶圓表面是清潔。

• 晶圓等級自動分類

 提供12等级晶圓自動分類功能，可將檢測後的同一等級的晶圓分類到相同的Cassette，提高生產分類效率。

• 晶圓檢測報告輸出

 晶圓檢測結果以Excel的形式輸出，檢測報告內容包括檢測時間、Recipe、晶圓編碼、入料盒號、出料盒號、缺陷及反射率等，可做為生產統計分析及製程改善使用。